$中芯国际(688981)$ 一、核心定义与结构
•全称：Self-alignedFlipFET（自对准倒装堆叠晶体管）
•核心结构：正面NFinFET+背面PFET，背靠背自对准堆叠，双面有源区、双面互连。
对比CFET：CFET是正面垂直堆叠N/P管，工艺需极高深宽比（＞20:1）、对齐难、热预算高；FFET用“倒装+背面制