5月以来，半导体设备板块在经历前期快速上涨后进入高位震荡，但产业端国产替代逻辑未改，反而在外部压力和内部政策加码的双重作用下持续强化。6月3日，半导体设备ETF招商（561980）一度涨超5%，权重股盛美上海、立昂微、寒武纪等多股走强。
数据显示，该ETF跟踪中证半导体产业指数，截至6月2日年内上涨50%，2020年以来累计涨超385%、近一年涨幅达141%，多阶段表现在科创芯片、半导体材料设备等同类指数中位居第一。
在正在进行中的《韬τ定律破芯局！半导体后市怎么看？》路演中，招商证券电子行业首席分析师鄢凡指出，目前海外出口管制正在从“限制先进制程扩产”升级为“锁死现有产能运转”：一是MATCH法案管制范围将扩展至浸没式DUV、设备维保、软件更新和零部件供应；二是日本在涂胶显影、刻蚀、清洗、量测等环节长期占据关键位置，双重推动下国内晶圆厂加速导入国产设备、材料和零部件，尤其在成熟制程环节，国产化率有望进入快速提升通道。
大基金方面，针对近期半导体龙头密集遭大基金减持，一期、二期陆续退出不能简单理解为看空产业，而是产业基金正常投资回收的一部分。大基金一期成立于2014年，主要围绕芯片制造、封测、设备和材料等环节进行布局，解决的是国内半导体产业“有没有基础产能”的问题；随着部分被投企业上市并进入成熟阶段，相关公司已经具备利润兑现和自我发展能力，基金减持本质上是市场化退出。大基金二期成立于2019年，投资范围进一步向设备、材料、零部件等上游环节延伸，在补链强链方面作用更明显。
三期规模进一步扩大，股东结构中引入国有大行、中央财政、地方国资等长期资金，战略方向也从单纯支持产能扩张，转向攻坚设备、材料、核心零部件、EDA、先进封装和算力芯片等“卡脖子”环节。根据统计，三期核心投向为设备材料国产化（约70%资金）以及先进封装与AI存储（约30%资金），并前瞻布局AI芯片、具身智能等前沿领域。因此，对板块而言，一期、二期退出更多是产业进入成熟阶段的信号，三期进入则有望带来长期资金支持和产业资源倾斜，推动国产设备和材料的订单验证、研发投入和国产化率持续提升。
半导体设备ETF招商（561980）跟踪中证半导，成份股中“国家大基金”含量超过60%，深度绑定国产替代主线。该指数覆盖设备、材料、设计、制造四大核心环节，前十大重仓集中度超77%，设备及材料含量约80%、算力芯片含量20%、长鑫存储含量高达53%。在外部压力倒逼自主可控、大基金三期注入长期资金的双重驱动下，设备与材料、算力芯片环节的订单确定性和业绩可见度持续被验证。
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