光刻机突破！SSA800交付中芯国际！561980单日飙涨超6%

近日，半导体产业链迎来多重重磅信号。光刻机突破方面，SSA800系列28nm浸没式DUV光刻机或已交付中芯国际，批量量产状态确认，产线良率超90%，国产化率突破85%。这一里程碑标志着国产光刻机从研发验证正式迈入规模化量产阶段，为国内晶圆厂扩产扫除了最关键的核心设备瓶颈。二级市场方面异动频频，4月27日，半导体设备ETF招商(561980)单日飙涨超6%。

分析指出，光刻机是半导体制造的“皇冠明珠”，是芯片生产线上最核心、技术壁垒最高的设备。SSA800系列28nm浸没式DUV光刻机交付中芯国际并实现批量量产，标志着国产光刻机从“研发验证”正式迈入“规模化量产”阶段。国产光刻机突破，打开了晶圆厂扩产的“天花板”，半导体设备ETF招商(561980)(场内：561980，场外：020464)作为布局国产设备全产业链的核心工具，其底层资产的订单预期和估值空间均有望随之提升。

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